Revista mundial de ingeniería, diseño y tecnología
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abstracto

Efectos de la temperatura del sustrato sobre las propiedades estructurales de la película delgada de Zno:al depositada por deposición por pulverización electrostática

U. E. Uno, K. U. Isah y T. O. Daniel

Se prepararon películas delgadas de óxido de zinc y ZnO dopado con Al (AZO) mediante el método de deposición por pulverización electrostática sobre sustratos de cal sodada y vidrio . Se investigaron los efectos de las temperaturas del sustrato (300, 350, 400 y 450 OC) sobre las propiedades estructurales de las películas. El análisis de difracción de rayos X indica que las películas eran policristalinas, tenían una estructura hexagonal (wurtzita) independientemente de la temperatura del sustrato y presentaban una orientación preferida a lo largo del plano (002). Los parámetros microestructurales como tamaño de partícula, deformación y densidad de dislocaciones fueron afectados y calculados. Se encontró que el tamaño de partícula del AZO estaba dentro del rango de 70,6 nm a 95,34 nm. El grosor de la película disminuye con el aumento de la temperatura del sustrato y está dentro del rango de 0,23 a 0,15 µm.